1.使用环境
1.1使用环境
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表1 使用环境 |
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温度 |
工作温度:16℃至25℃ 最佳精度保证温度为20℃±1℃，如果任何时候操作温度偏离20℃，定位精度随之偏离。 |
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最大温度梯度 |
50mK/min |
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相对湿度 |
40-60%，50%最佳 |
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最大湿度梯度 |
1%/min |
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名义大气压 |
1PSI+5Pa |
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局部气压变化 |
±10Pa |
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最大气压梯度 |
20Pa/min |
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洁净度 |
ISO-7 |
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振动等级： |
根据精度评估 |
2.测试方案
2.1测试标准
按行业标准或双方约定的标准测试，提供出厂测试报告，在用户现场实测精度指标，作为最终验收结果，双方现场签署验收单。
1）行程：运动控制卡采集反馈位置；
2）最大速度（空载）：运动控制卡读取最大速度反馈；
3）双向重复定位及定位精度测试：雷尼绍激光干涉仪往返5次阶梯法数据测量，采用雷尼绍软件自带雷尼绍分析方法得出结果；
4）轴向和径向跳动误差：测微仪和标准球测量，剔除标准球误差和安装同心误差，轴向读取测微仪数值（最大值-最小值），径向读取测微仪数值（最大值-最小值-标准球圆度误差）；
5）其他指标：按双方约定测试。
2.2测试仪器
测试仪器：激光干涉仪+回转轴校准装置
仪器型号：Renishaw XL-80、XR20-W
测试项目：定位精度、重复定位精度。
测试仪器：测微仪+纳米标准半球
仪器型号：TESA TT-80、211-016（圆度10nm）
测试项目：轴向跳动误差、径向跳动误差。
2.3测试流程
定位精度、重复定位精度：
1）把测试/安装基准装到转台台面上，螺钉先不拧紧，调同心；
2）使用RenishawXL-80激光基准搭配XR20-W，安装镜组，调试光路；
3）以30°作为测量间隔，采用往返5次阶梯法数据测量得出结果。
轴向跳动误差、径向跳动误差：
1）把测试/安装基准装到转台台面上，螺钉先不拧紧；
2）将表固定在表座或表架上，稳定可靠。测头放到纳米标准半球环带的0°基准点，转台转动到180°，对比数据，多次测量轴对称点位数据以调同心，螺钉固定；
3）测头放在转台以及纳米标准半球轴心线上端，转台连续旋转，读取测微仪数值（最大值-最小值），得出轴向跳动误差；
4）测头放纳米标准半球测量环带，转台连续旋转，读取测微仪数值（最大值-最小值-标准球本身圆度误差），得出径向跳动误差。
